|
반도체공학 - 박광순, 여진경 역. 학문사. 1997
[5] http://www.ece.utep.edu/research/webedl/cdte/Fabrication/index.htm
[6] http://lsm.rutgers.edu/facilities_ALD.shtml
[7] chap2. 전계효과 트랜지스터(FET) - 디스플레이공학 이준신교수님 강의자료 1. 실험목적 (Purpose)
2.
|
|
|
실험들을 클린룸에서 진행하는지도 느끼게 되었습니다. 실험을 진행하는 동안 거의 모든 웨이퍼에서 오염물이 발견 되었기 때문입니다. 졸업을 하고 취업을 하더라도 반도체 공정을 하면 정말 정교하고 정밀하게 작업에 임해야겠다고 생각
|
|
|
가 두꺼운 것이 요구되면 상당히 긴 시간이 소요된다.
※ Reference
- Introduction to solid state physics,7th edition (Charles Kittle)
- http://smdl.snu.ac.kr/Lecture/semi_process/data/ch101.ppt
- http://home.mokwon.ac.kr/
|
|
|
두께에 해당하는 셈이다. 이 장치의 감도는 10-9 g/㎠까지 되고, 이는 철의 경우 한 개층의 1/100에 해당하는 양이다. 온도를 ± 0.01°C 내에서 안정시키면 10-12 g/㎠의 감도를 얻을 수 있다.
9. 결론
이번 실험은 반도체 제조공정에 대한 전반적인 이
|
|
|
실험한 Au의 XRD데이터가 JCPDS와 비교해보면, 약간의 오차가 있었다. 그 이유로 코팅시에 Au에 약간의 백금이 첨가가되었기 때문이다.
Ⅳ. 참고문헌
1. Richard C. Jaeger, 반도체공정개론, 교보문고, 2004년, 163-175
2. 이형직외 2명, 박막프로세스의 기초
|
|
|
반도체 공학(형설출판사, 2003), p 76~82
한국공업화학회 편, 무기공업화학,(청문각), p215~225
http://www.semipark.co.kr/images/
http://home.megapass.co.kr/~snareeyes/frame_1.htm
http://www.kdns.co.kr/
http://www.lgphilips-lcd.com:8888/Korean/tech/d2_1.html 실험제목
실험목적
|
|
|
반도체에 자계를 가하고 (X축으로 생각하세요)
그 자계 방향에 수직되게 전류를 흘리면 (Y축방향)
이 두 방향에 수직되는 방향으로 전위가 나타나는 현상입니다 (Z축 방향)
자계, 전류, 반도체 두께, 반도체 종류에 따라 나타는 전압은 달라지구
|
|
|
반도체분야에서는 반도체의 물성연구에 이용되나, 센서분야에서는 홀전압을 측정함으로써 자기장을 측정하는 방법으로 사용된다. 홀센서는 소형 다량 생산이 가능하고 증폭기 등 전자회로를 동시에 반도체공정으로 생산 가능 하고 저가의
|
|
|
두께의 패턴을 가진 시편을 만들고자 할 때 적절한 노광시간을 채택하여 보다 정확한 시편을 만들 수 있을 것이다. 그리고 반도체 공정에서 가장 중요한 것은 클린룸 내 particle 제어와 시편에 붙어있는 불순물 제거인데 이번 실험에서 불순물
|
|
|
실험을 통해서 나노입자의 측정을 배웠고, AFM의 용도와 사용방법에 대해 들었다. 산화공정을 통해 반도체의 기본과정과, 실리콘의 용도에 대해서 좀 더 자세히 알 수 있었다. MOS에 대한 뜻도 알게 되었다. 앞으로 유용하게 사용 될 반도체소자
|
|
메뉴펼치기
