A+ 기계공학 응용실험 11.MEMS 실험 예비 레포트,결과 보고서

소개글

A+ 기계공학 응용실험 11.MEMS 실험 예비 레포트,결과 보고서에 대한 보고서 자료입니다.

목차

-예비 레포트 목차
1. 전도도의 관점에서 재료는 세 가지로 구분할 수 있다. 세 가지 재료에 대하여 설명하고, 이중 MEMS에서 주로 사용하는 재료에 대해서 자세히 기술하시오.
2. MEMS 기기의 길이 규모는 일반적으로 1um~1cm이다. 크기가 작은 기기의 작동상 장점과 스케일링 효과(scaling effect)에 대하여 설명하시오.
3. 기존 머시닝 기술 (conventional machining technologies)과 비교하여 마이크로 머시닝 기술(micromachining techniques)의 가장 중요한 차이점에 대하여 설명하시오.
4. 마이크로머시닝 기술은 제작 방법에 따라서 두 가지로 분류된다. 두 가지 마이크로머시닝 기술에 대하여 설명하시오.
-결과 레포트 목차
①실험이 진행된 순서와 조건을 기록하고 각 공정의 의미를 쓰시오.
②감광막의 코팅을 위하여 사용되는 장비에 대하여 설명하고, 감광막의 두께, 회전 속도, 회전 시간에 대한 상호 관계 그래프를 그리고 설명하시오.
③금속 증착에 사용되는 장비에 대하여 조사하고, 각각의 차이점에 대하여 설명하시오.
④음성감광막과 양성감광막의 차이를 설명하고, 노광 후 최종적으로 형성된 패턴을 패턴은 어떤 차이점을 보이는지 설명하시오.
기타 특이사항 및 소감

본문내용

A+ 기계공학 응용실험 11.MEMS 실험 예비 레포트,결과 보고서

목차
-예비 레포트 목차

1. 전도도의 관점에서 재료는 세 가지로 구분할 수 있다. 세 가지 재료에 대하여 설명하고, 이중 MEMS에서 주로 사용하는 재료에 대해서 자세히 기술하시오.
2. MEMS 기기의 길이 규모는 일반적으로 1um~1cm이다. 크기가 작은 기기의 작동상 장점과 스케일링 효과(scaling effect)에 대하여 설명하시오.
3. 기존 머시닝 기술 (conventional machining technologies)과 비교하여 마이크로 머시닝 기술(micromachining techniques)의 가장 중요한 차이점에 대하여 설명하시오.
4. 마이크로머시닝 기술은 제작 방법에 따라서 두 가지로 분류된다. 두 가지 마이크로머시닝 기술에 대하여 설명하시오.
-결과 레포트 목차

①실험이 진행된 순서와 조건을 기록하고 각 공정의 의미를 쓰시오.
②감광막의 코팅을 위하여 사용되는 장

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