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박막을 현미경으로 관찰하기 위해 공기 중에 노출시켰고 이 과정에서 박막 위에 먼지나 이물질들이 묻어 식각 과정에 영향을 주었을 수도 있다. 넷 째, 두께 측정기에 박막을 넣을 때 1차와 2차 실험을 한 박막이 섞였을 가능성이 있다. 4개의
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리소그래피가 곧 상용화 될 것이라 본다.
5. 박막증착
바깥으로 소자구조를 연결시키기 위해서는 금속층의 증착과 패터닝이 요구된다. 사실 복잡한 IC는 전기적으로 고립된 3개 때로는 4개의 금속화된 층을 가지고 있다. 금속층의 전기적인 고
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있으며, 이를 위해 수십 년간 연구와 개발이 진행되고 있다. 예를 들어, 5nm 공정은 회로 간 간섭을 최소화하 1. 반도체공정 개요
2. 웨이퍼 제조 과정
3. 포토리소그래피 공정
4. 식각 공정
5. 박막 증착 공정
6. 검사 및 품질 관리
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리소그래피 기술
(광, 전자선 제외)
신개념의 원리 및 기술을 적용하여 50 nm급 패턴제조기술, 선택적 화학반응을 통한 패턴 형성 및 유.무기 다층박막(두께:10nm이하)의 제조가 가능한 경제적인 패터닝 기술 개발
'02∼'06
(5년이내)
후보
13.나노
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A+ 박막의 패터닝 실험 예비보고서
목차
1. Title
2. Experimental objective
3. Theoretical background
4. Experimental details
5. References
1. Title
A+ 박막의 패터닝 실험 예비보고서의 제목은 이 연구의 목적과 방법론을 간결하면서도 정확하게 전
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