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토리소그래피 과정에서 자주 행하는 공정인데, 크게 PR코팅 후의 소프트 베이킹, 노광 후의 post exposure baking, 현상 후의 하드 베이킹이 있다.
3.결론
지금까지 살펴본 포토리소그래피는 기계부품과 전자부품의 케미칼 에칭가공, 프린트기판 제
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문제로 사용하는데 한계가 있다.
따라서 이와 더불어 더욱 정교하고 미세하게 마스크에 패턴을 만드는 기술의 개발 또한 진행되고 있다. 1. 서론
2. 본론
1) Photoresist coat(PR코팅)
2) Soft Bake
3) Photo exposure
4)Develop
5)Hard bake
3.결론
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포토레지스트 및 배향막 등 디스플레이용 화학재료 사업을 올해부터 크게 강화할 예정이다. ▪ Photolithography의 정의
▪ Photolithography의 세부 공정 및 재료
TFT 부분
COLOR FILTER 부분
▪ Photolithography의 현 사용현황 및 기업
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포토리소그래피 실험
목차
1. 실험 목적
2. 이론적 배경
3. 실험 장치 및 재료
4. 실험 방법
5. 결과 및 분석
6. 결론
포토리소그래피 실험
1. 실험 목적
포토리소그래피 실험의 목적은 미세한 패턴을 정밀하게 제작하는
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포토리소그래피 실험 결과 레포트
목차
1. 실험 제목
2. 실험 목적
3. 실험
1. 실험 제목
포토리소그래피 실험 결과 레포트의 실험 제목은 "반도체 소자의 미세 가공을 위한 포토리소그래피 공정 개발"이다. 본 실험은 현대 전자
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