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박막 제작
●실험 기구
알루미늄, TiO2, Mo보트, 슬라이드 글라스, 면도날, Bell jar, Electron beam, Rotary pump, Oil diffusion pump, 가이슬러 게이지, 이온화 게이지
●실험 방법
1)회전 펌프와 확산 펌프 각각의 냉각수 관을 연결한다.
2)진공 장치의 주 스위
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박막에 속한다.
◈열증발 증착법
도선에 흐르는 전기의 순수 저항을 이용하여 가열하는 방법으로 텅스텐, 티타늄 등을 이용하거나 접점저항을 이용하여 가열함.
①증발 과정시 증발체는 보통 높은 진공 상태에서 열 이 가해짐(P<10Torr)
②압
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논문 활용) Ⅰ. 서 론
1. 실험하는 목적
Ⅱ. 본 론
1. 이론적 배경
1> 플라즈마란?
2> 진공이란?
3> Sputter
4> 왜 저항 측정을 하는가?
2. 실험 방법
3. 실험 결과
Ⅲ. 고 찰
Ⅳ. 참 고
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박막 ·반도체박막 ·절연박막 ·화합물 반도체박막 ·자성(磁性)박막 ·유전체(誘電體)박막 ·집적회로 ·초전도(超電導)박막 등이 진공 증착법(증기 건조법)을 위시하여 전기 도금법, 기체 또는 액체 속의 산화법, 화합물 열분해법, 전자빔 증착
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진공이란?
대기압보다 낮은 기체압력의 특정 공간상태
박막 제작에 필요한 진공은 10-2 Pa대 또는
그 이하의 압력
진공의 필요성
1. 깨끗한 환경 제공
2. 적절한 환경 제공
저진공 (Low vacuum)
1기압 ~ 10-3 Torr, Rough Vacuum
기체 상태의 분자 수
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