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면서 현상이 제대로 되지 않았을 수도 있다는 우려도 생겼습니다.
수작업으로 현상액을 만들다보니 현상액의 농도 조절이 쉽지 않아 적절한 농도를 맞추는 게 쉽지 않아보입니다.
소감
PR코팅을 벗겨내는 현상과정이 끝난 이후, 실제로 동판
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PR코팅층이 손실되는 것을 막는다.
7단계 : \'hard baking\'을 한 실리콘 웨이퍼를 \'BOE용액\'으로 4분30초동안 \'etching\'시켜준다.
①\'hard baking\'을 한 실리콘 웨이퍼를 \'BOE용액\'에 4분30초동안 담가둔다.
\'BOE용액\'은 불산과 NH4을 1:6의 비율로 섞은
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PR을 사용하여 코팅하는 공정이 필름을 사용하여 Lamination하는 공정으로 바뀐것이 다르다. 이 기술은 안료분산법의 PR코팅 공정이 느리고 이 공정에서 불량이 많이 발생하는데에 착안을 하여 개발한 기술로서, 생산성이 높은 것이 장점이나 Lami
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포토리소그래피 과정에서 자주 행하는 공정인데, 크게 PR코팅 후의 소프트 베이킹, 노광 후의 post exposure baking, 현상 후의 하드 베이킹이 있다.
3.결론
지금까지 살펴본 포토리소그래피는 기계부품과 전자부품의 케미칼 에칭가공, 프린트기판
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포토리소그래피 과정에서 자주 행하는 공정인데, 크게 PR코팅 후의 소프트 베이킹, 노광 후의 post exposure baking, 현상 후의 하드 베이킹이 있다.
3.결론
지금까지 살펴본 포토리소그래피는 기계부품과 전자부품의 케미칼 에칭가공, 프린트기판
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(lithography)
1) 리소그래피란?
2) 리소그래피 기술의 개요
3) 리소그래피 장치의 분류
4) 리소그래피 방법
① Photoresist coat (PR 코팅)
② Soft Bake(소프트 베이크)
③ Photo exposure(노광)
④ Develop(현상)
⑤ Hard bake(하드 베이크)
5) 향후의 전망
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pr_news_view&corp=newswire&arcid=3000644835&cDateYear=2012&cDateMonth=08&cDateDay=20
- 뉴스와이어 액정보호필름 부착전문점 어플리메이트
http://www.newswire.co.kr/newsRead.php?no=564685
- ZDNET Korea 액정보호필름의 기능과 성능
http://www.zdnet.co.kr/news/news_view.asp?artice_id=20110
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PR 코팅용으로 알 수 있다. 즉 빛을 받지 않는 부분이 제거가 된다.
Negative PR용 MASK의 개략도
Mask의 PATTERN AFTER EXPOSURE
얼마나 정교한 Pattern으로 이루어져 있는지에 따라 나중에 생길 pattern의 균일성이 결정된다. 우리는
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액체.
웨이퍼 위에 균일하게 코팅된 PR은 빛에 노출되면 화학적 성질이 변하게 되는데, 빛에 노출된 부분이 제거되면 Positive, 노출되지 않는 부분이 제거되면 Negative 형으로 분류된다. 정의
Photo 공정순서
Photo Resist
Exposure
Development
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ng이 있다.
최근에는 CAD를 이용하여 더 정밀하고, 정확한 회로와 패턴을 작성한다. 한 소자를 제작하기 위해 여 러 장의 설계도를 이용하여 제작해서 그들 중 가장 우수한 것을 선택해서 이를 스텝 엔 리피터(step and repeater)를 이용하여 동일한
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